gyroscopyГироскопия и навигацияGiroskopiya i Navigatsiya0869-70352075-0927AO «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор»gyroscopy-458Research ArticleСтатьиОценка характеристик микромеханических инерциальных датчиков на основе автоколебательных системСкалонА. И.

Скалон Анатолий Иванович, доктор технических наук, ведущий научный сотрудник; профессор. Действительный член общественного объединения «Академия навигации и управления движением».

ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения. (С.-Петербург).Russian Federation2014030220262237383Copyright © Скалон А.И., 20262026Скалон А.И.Скалон А.И.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.gyroscopy.ru/jour/article/view/458

Рассматриваются вопросы разработки микромеханических инерциальных датчиков, работающих в режиме автоколебаний. Показаны пути анализа параметров таких датчиков на основе анализа информационно-энергетических характеристик, а также возможности реализации микромеханических приборов с использованием новой элементной базы: оптоэлектронных датчиков положения и магнитоэлектрических компенсирующих преобразователей. Описаны преимущества таких приборов.

The issues of development of micromechanical inertial sensors operating in the mode of self-oscillation are considered. The ways of the analysis of parameters of such sensors based on the analysis of information and energy characteristics, as well as the feasibility of micromechanical devices using the new element base: optoelectronic position sensors and magnetoelectric compensating converters. The advantages of such devices are described.

Micromechanical sensorsanalysis of parametersnew element baseReferencesГрановский В.А., Скалон А.И. Метрологическая проблема микроэлектромеханических систем и методологические основы ее решения // Измерения, контроль, автоматизация.- 2006.- №8.Грановский В.А., Скалон А.И. Метрологическая проблема микроэлектромеханических систем и методологические основы ее решения // Измерения, контроль, автоматизация.- 2006.- №8.Скалон А.И. Пути повышения чувствительности микроминиатюрных датчиков первичной информации систем управления подвижных объектов //Измерительная техника.1998.-№3.Скалон А.И. Пути повышения чувствительности микроминиатюрных датчиков первичной информации систем управления подвижных объектов //Измерительная техника.1998.-№3.Скалон А.И., Рыбаков В.И., Жуков В.Н. и др. Принципы построения и конструкции микро-механических измерителей параметров движения.//Малые космические аппараты. ВыпускСкалон А.И., Рыбаков В.И., Жуков В.Н. и др. Принципы построения и конструкции микро-механических измерителей параметров движения.//Малые космические аппараты. ВыпускСкалон А.И. Общность проектирования и расчета элементов микроминиатюрных и микромеханических датчиков // Датчики и системы. 2002, № 9. С.13 – 16.Скалон А.И. Общность проектирования и расчета элементов микроминиатюрных и микромеханических датчиков // Датчики и системы. 2002, № 9. С.13 – 16.Скалон А.И. Разработка принципов построения микромеханических датчиков первичной информации интегрального уравновешивания с использованием оптоэлектронных и электромагнитных элементов//Микросистемная техника 2004, №4Скалон А.И. Разработка принципов построения микромеханических датчиков первичной информации интегрального уравновешивания с использованием оптоэлектронных и электромагнитных элементов//Микросистемная техника 2004, №4Инфраструктура малых космических аппаратов / Под ред. В.Ф. Фатеева.- М.: Радиотехника, 2011.Инфраструктура малых космических аппаратов / Под ред. В.Ф. Фатеева.- М.: Радиотехника, 2011.Распопов В.Я. Микромеханические приборы.- М. Машиностроение, 2007.Распопов В.Я. Микромеханические приборы.- М. Машиностроение, 2007.Richard L. Waters*, Mark Fralick, David Jacobs, Sherry Abassi, Ricardo Dao, Dave Carbonari, Greg Maurer. Factors Influencing the Noise Floor and Stability of a Time Domain Switched Inertial Device* Senior Member IEEE Lumedyne Technologies Inc. 2012.Richard L. Waters*, Mark Fralick, David Jacobs, Sherry Abassi, Ricardo Dao, Dave Carbonari, Greg Maurer. Factors Influencing the Noise Floor and Stability of a Time Domain Switched Inertial Device* Senior Member IEEE Lumedyne Technologies Inc. 2012.Скалон А.И. Разработка принципов построения микромеханических датчиков первичной ин-формации интегрального уравновешивания с использованием оптоэлектронных и электромагнитных элементов // Микросистемная техника.- 2004.- № 4.Скалон А.И. Разработка принципов построения микромеханических датчиков первичной ин-формации интегрального уравновешивания с использованием оптоэлектронных и электромагнитных элементов // Микросистемная техника.- 2004.- № 4.Вольфсон Г.Б Скалон А.И. О классе точности элементной базы в автокомпенсационных схемах гравитационных вариометров // Судостроительная промышленность. Сер. Навигация и гироскопия. - 1991.-Вып. 1.Вольфсон Г.Б Скалон А.И. О классе точности элементной базы в автокомпенсационных схемах гравитационных вариометров // Судостроительная промышленность. Сер. Навигация и гироскопия. - 1991.-Вып. 1.Скалон А.И. Особенности динамических процессов в измерительных устройствах, работающих в режиме автоколебаний // Измерительная техника. - 1994.-№ 8.Скалон А.И. Особенности динамических процессов в измерительных устройствах, работающих в режиме автоколебаний // Измерительная техника. - 1994.-№ 8.Скалон А.И. Тыртычный А.А. Анализ характеристик компенсирующих преобразователей микромеханических инерциальных датчиков // Датчики и системы. - 2009. -№ 2.Скалон А.И. Тыртычный А.А. Анализ характеристик компенсирующих преобразователей микромеханических инерциальных датчиков // Датчики и системы. - 2009. -№ 2.Скалон А.И., Тыртычный А.А. Микромеханический датчик угловой скорости. Патент на изобретение №2410701 МКП G01P 9/04, G01P 15/00. Зарегистрировано в Госреестре РФ27.01.2011.Скалон А.И., Тыртычный А.А. Микромеханический датчик угловой скорости. Патент на изобретение №2410701 МКП G01P 9/04, G01P 15/00. Зарегистрировано в Госреестре РФ27.01.2011.Скалон А.И., Орлов А.С., Завиновский Л.А. Угловой акселерометр. Патент на изобретение №2399915 G01P 15/00. Зарегистрировано в Госреестре РФ 27.01.2011.Скалон А.И., Орлов А.С., Завиновский Л.А. Угловой акселерометр. Патент на изобретение №2399915 G01P 15/00. Зарегистрировано в Госреестре РФ 27.01.2011.Скалон А.И., Калаурный Я.Н., Григорьев А. В. Линейный микроакселерометр / Патент на изобретение № 2410703. Зарегистрировано в Госреестре РФ27.01.2011.Скалон А.И., Калаурный Я.Н., Григорьев А. В. Линейный микроакселерометр / Патент на изобретение № 2410703. Зарегистрировано в Госреестре РФ27.01.2011.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.