gyroscopyГироскопия и навигацияGiroskopiya i Navigatsiya0869-70352075-0927AO «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор»gyroscopy-506Research ArticleСтатьиИсследование электромеханической модели микромеханического гироскопа R-R типа с учетом вибраций основанияЕвстифеевМ. И.

Евстифеев Михаил Илларионович, доктор технических наук, начальник отдела. Действительный член общественного объединения «Академия навигации и управления движением». 

КовалевА. С.

Ковалев Андрей Сергеевич, кандидат технических наук, начальник лаборатории. Член молодежной секции общественного объединения «Академия навигации и управления движением».

ЕлисеевД. П.

ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург).

ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург).Russian FederationЕлисеев Даниил Павлович, инженер-конструктор.Russian Federation2013020320262132432Copyright © Евстифеев М.И., Ковалев А.С., Елисеев Д.П., 20262026Евстифеев М.И., Ковалев А.С., Елисеев Д.П.Евстифеев М.И., Ковалев А.С., Елисеев Д.П.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.gyroscopy.ru/jour/article/view/506

Приведены результаты разработки электромеханической модели микромеханического гироскопа R-R типа, учитывающей нелинейные эффекты и неравенство характеристик датчиков угла и момента. Исследованы причины появления резонансных пиков на субгармониках при вибрации основания, и определены требования к характеристикам эле-ментов системы управления.

The results of developing the electromechanical model of a R-R type MEMS Gyro are given. This model considers nonlinear effects and inequality of the drive and sense elements parameters. The reasons for the appearance of resonance peaks on the sub-multiple harmonics with the base vibration are investigated and requirements for the characteristics of the control system elements are defined.

Еlectromechanical modelR-R type MEMScontrol system elementsReferencesПешехонов, В.Г. Современное состояние и перспективы развития гироскопических систем // Гироскопия и навигация. - 2011. - № 1. - С.3-16.Пешехонов, В.Г. Современное состояние и перспективы развития гироскопических систем // Гироскопия и навигация. - 2011. - № 1. - С.3-16.Xie H., Fedder G.K. Integrated Microelectromechanical Gyroscopes // Journal of Aerospace Engineering. - April 2003. - pp. 65-75.Xie H., Fedder G.K. Integrated Microelectromechanical Gyroscopes // Journal of Aerospace Engineering. - April 2003. - pp. 65-75.Тузов, А. Датчики для измерения параметров движения на основе МЭМС-технологии. Ч. 2. Инерциальные датчики высокой точности // Электроника. - 2011. - № 1. - С.2-5.Тузов, А. Датчики для измерения параметров движения на основе МЭМС-технологии. Ч. 2. Инерциальные датчики высокой точности // Электроника. - 2011. - № 1. - С.2-5.Евстифеев, М.И. Вопросы обеспечения стойкости микромеханических гироскопов при механических воздействиях / М.И. Евстифеев, И.Б. Челпанов // Гироскопия и навигация. - 2013. - № 1. - С.-.Евстифеев, М.И. Вопросы обеспечения стойкости микромеханических гироскопов при механических воздействиях / М.И. Евстифеев, И.Б. Челпанов // Гироскопия и навигация. - 2013. - № 1. - С.-.Weinberg, H. Gyro Mechanical Performance: The Most Important Parameter // Technical Article MS-2158. Analog Devices, Inc. - September 2011. - Pp.1-5.Weinberg, H. Gyro Mechanical Performance: The Most Important Parameter // Technical Article MS-2158. Analog Devices, Inc. - September 2011. - Pp.1-5.Результаты испытаний микромеханических гироскопов при механических воздействиях / М.И. Евстифеев [и др.] // Гироскопия и навигация. - 2011. - №.1. - С.49-58.Результаты испытаний микромеханических гироскопов при механических воздействиях / М.И. Евстифеев [и др.] // Гироскопия и навигация. - 2011. - №.1. - С.49-58.Евстифеев, М.И. Анализ электромеханической модели микромеханического гироскопа RR-типа / М.И. Евстифеев, Д.П. Елисеев, А.С. Ковалев // Материалы XХVIII конференции памяти выдающегося конструктора гироскопических приборов Н.Н.Острякова. - СПб.: ГНЦ РФ ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», 2012. - 13 с.Евстифеев, М.И. Анализ электромеханической модели микромеханического гироскопа RR-типа / М.И. Евстифеев, Д.П. Елисеев, А.С. Ковалев // Материалы XХVIII конференции памяти выдающегося конструктора гироскопических приборов Н.Н.Острякова. - СПб.: ГНЦ РФ ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», 2012. - 13 с.Ковалев, А.С. Анализ уточненной математической модели ММГ RR-типа при воздействии линейных вибраций / А.С. Ковалев, Д.П. Елисеев, А.А. Белогуров / Реф. докл. на XIV конференции молодых ученых «Навигация и управление движение» // Гироскопия и навигация. - 2012. - №2. - С.167.Ковалев, А.С. Анализ уточненной математической модели ММГ RR-типа при воздействии линейных вибраций / А.С. Ковалев, Д.П. Елисеев, А.А. Белогуров / Реф. докл. на XIV конференции молодых ученых «Навигация и управление движение» // Гироскопия и навигация. - 2012. - №2. - С.167.Исследование динамики микромеханического гироскопа при механических воздействиях / М.И. Евстифеев [и др.] // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО - 2011. - №4. - С.72-76.Исследование динамики микромеханического гироскопа при механических воздействиях / М.И. Евстифеев [и др.] // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО - 2011. - №4. - С.72-76.Беляева, Т.А. Подавление квадратурной помехи в микромеханическом гироскопе RR типа с помощью электродов, расположенных над зубцовой зоной / Т.А. Беляева, Я.А. Некрасов // Гироскопия и навигация. - 2008. - №1. - С.82-90.Беляева, Т.А. Подавление квадратурной помехи в микромеханическом гироскопе RR типа с помощью электродов, расположенных над зубцовой зоной / Т.А. Беляева, Я.А. Некрасов // Гироскопия и навигация. - 2008. - №1. - С.82-90.U.S. Patent 2005/0139005 A1. Micromachined Sensor with Quadrature Suppression / Geen J.; Ana-log Devices. - Jun.30, 2005. - 24 p.U.S. Patent 2005/0139005 A1. Micromachined Sensor with Quadrature Suppression / Geen J.; Ana-log Devices. - Jun.30, 2005. - 24 p.U.S. Patent 8266961. Inertial Sensors with Reduced Sensitivity to Quadrature Errors and Micromachining Inaccuracies / Kuang J., Geen J.; Analog Devices. - Sep.18, 2012. - 17 p.U.S. Patent 8266961. Inertial Sensors with Reduced Sensitivity to Quadrature Errors and Micromachining Inaccuracies / Kuang J., Geen J.; Analog Devices. - Sep.18, 2012. - 17 p.Ковалев, А.С., Методы снижения влияния разбросов конструктивных параметров микромеханического гироскопа на его характеристики / А.С. Ковалев, Е.В. Логовская // Материалы X конференции молодых ученых «Навигация и управление движением». - 2009. - С.362-369.Ковалев, А.С., Методы снижения влияния разбросов конструктивных параметров микромеханического гироскопа на его характеристики / А.С. Ковалев, Е.В. Логовская // Материалы X конференции молодых ученых «Навигация и управление движением». - 2009. - С.362-369.Евстифеев, М.И. Проблемы расчета и проектирования микромеханических гироскопов // Гироскопия и навигация. - 2004. - №1. - С.27-39.Евстифеев, М.И. Проблемы расчета и проектирования микромеханических гироскопов // Гироскопия и навигация. - 2004. - №1. - С.27-39.Евстифеев, М.И. Анализ прочности упругих подвесов микромеханических гироскопов / М.И. Евстифеев, Д.В. Розенцвейн, И.Б. Челпанов // Гироскопия и навигация. - 2009. - №.3 - С.22-34.Евстифеев, М.И. Анализ прочности упругих подвесов микромеханических гироскопов / М.И. Евстифеев, Д.В. Розенцвейн, И.Б. Челпанов // Гироскопия и навигация. - 2009. - №.3 - С.22-34.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.