gyroscopyГироскопия и навигацияGiroskopiya i Navigatsiya / Gyroscopy and Navigation0869-70352075-0927AO «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор»gyroscopy-532Research ArticleСтатьиКритерии качества и вопросы оптимизации конструкций микромеханических гироскопов RR-типаЕвстифеевМ. И.

Евстифеев Михаил Илларионович, доктор технических наук, начальник отдела. Действительный член общественного объединения «Академия навигации и управления движением».

ЧелпановИ. Б.

Челпанов Игорь Борисович, доктор технических наук, профессор, ведущий научный сотрудник. Действительный член общественного объединения «Академия навигации и управления движением». 

ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург).Russian FederationОАО «Концерн ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург).Russian Federation201205032026201122132Copyright © Евстифеев М.И., Челпанов И.Б., 20262026Евстифеев М.И., Челпанов И.Б.Евстифеев М.И., Челпанов И.Б.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.gyroscopy.ru/jour/article/view/532

Предложен подход к построению комплексных критериев качества конструкций ММГ RR-типа, которые учитывают одновременно такие показатели как масштабный коэффициент и перегрузочная способность. Использование комплексных критериев, построенных на основе принципов квалиметрии, позволяет интегрально оценивать комплекс свойств, характеризуемых разнородными и взаимно противоречивыми зависимостями параметров гироскопов от конструктивных параметров подвесов. Предложенные комплексные критерии дают возможность объективно проводить сравнение различных вариантов конструкций гироскопов и осуществлять их параметрическую оптимизацию.

The approach for building the complex performance criteria of RR-type MMG de-signs that takes into account simultaneously such factors as scale factor and over-load capacity has been proposed. The common complex criteria built on the base of quality metering principle allow to estimate impartially the combination of attributes characterized by heterogeneous and mutually antithetic functions. These complex criteria allow to carrying out the comparison of different variants and the parametric optimization.

Мicroelectromechanical gyroscopeperformance criteriaoptimization.ReferencesЕвстифеев, М.И. Основные этапы разработки отечественных микромеханических гироскопов // Изв. вузов. Приборостроение. – 2011. – Т. 54, № 6. – С. 75-80.Евстифеев, М.И. Основные этапы разработки отечественных микромеханических гироскопов // Изв. вузов. Приборостроение. – 2011. – Т. 54, № 6. – С. 75-80.Xie H., Fedder G.K. Integrated Microelectromechanical Gyroscopes // Journal of Aerospace Engineering. – April 2003. – pp. 65-75Xie H., Fedder G.K. Integrated Microelectromechanical Gyroscopes // Journal of Aerospace Engineering. – April 2003. – pp. 65-75Савенко, Н. Акселерометры и гироскопы для портативных устройств // Современная электроника. – 2006. – № 6. – С. 18-21.Савенко, Н. Акселерометры и гироскопы для портативных устройств // Современная электроника. – 2006. – № 6. – С. 18-21.Сысоева, С. Ключевые сегменты рынка МЭМС-компонентов. Инерциальные системы – от low-end до high-end сегментов // Компоненты и технологии. – 2010. – № 5. – С.22-30.Сысоева, С. Ключевые сегменты рынка МЭМС-компонентов. Инерциальные системы – от low-end до high-end сегментов // Компоненты и технологии. – 2010. – № 5. – С.22-30.Тузов, А. Датчики для измерения параметров движения на основе МЭМС-технологии. Ч. 2. Инерциальные датчики высокой точности // Электроника. – 2011. – № 1. – С.2-5.Тузов, А. Датчики для измерения параметров движения на основе МЭМС-технологии. Ч. 2. Инерциальные датчики высокой точности // Электроника. – 2011. – № 1. – С.2-5.Евстифеев, М.И. Проблемы расчета и проектирования микромеханических гироскопов // Гироскопия и навигация. – 2004. – № 1. – С.27-39.Евстифеев, М.И. Проблемы расчета и проектирования микромеханических гироскопов // Гироскопия и навигация. – 2004. – № 1. – С.27-39.Weinberg, H. Gyro Mechanical Performance: The Most Important Parameter // Technical Article MS-2158. Analog Devices, Inc. – September 2011. – pp.1-5.Weinberg, H. Gyro Mechanical Performance: The Most Important Parameter // Technical Article MS-2158. Analog Devices, Inc. – September 2011. – pp.1-5.Geen, J. Progress in Integrated Gyroscopes // IEEE A&E Systems magazine – November, 2004. – pp. 12-17.Geen, J. Progress in Integrated Gyroscopes // IEEE A&E Systems magazine – November, 2004. – pp. 12-17.Евстифеев, М.И. Состояние разработок и перспективы развития микромеханических гироскопов // Материалы II конф. молодых ученых «Навигация и управление движением».- С.-Петербург, 2000.- С. 54-71.Евстифеев, М.И. Состояние разработок и перспективы развития микромеханических гироскопов // Материалы II конф. молодых ученых «Навигация и управление движением».- С.-Петербург, 2000.- С. 54-71.Евстифеев, М.И. Проблемы проектирования и опыт разработки микромеханических гироскопов // Мехатроника, автоматизация, управление. – 2009. – № 6. – С. 70-76.Евстифеев, М.И. Проблемы проектирования и опыт разработки микромеханических гироскопов // Мехатроника, автоматизация, управление. – 2009. – № 6. – С. 70-76.Chaumet, B. A New Silicon Tuning Fork Gyroscope for Aerospace Applications / B. Chaumet [et al.]/ // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Karlsruhe, Germany, 2009. – pp.1.1-1.13.Chaumet, B. A New Silicon Tuning Fork Gyroscope for Aerospace Applications / B. Chaumet [et al.]/ // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Karlsruhe, Germany, 2009. – pp.1.1-1.13.Geiger, W. Test Results of the Micromechanical Coriolis Rate Sensor μCORS II / W. Geiger [et al.] // Symposium Gyro Technology 2004, Stuttgart, Germany. – pp.1.0-1.18.Geiger, W. Test Results of the Micromechanical Coriolis Rate Sensor μCORS II / W. Geiger [et al.] // Symposium Gyro Technology 2004, Stuttgart, Germany. – pp.1.0-1.18.Blixhavn, B. SAR500 – A Novel High-Precision Gyroscope / B. Blixhavn [et al.] // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Karlsruhe, Germany, 2010. – pp.5.1-5.13.Blixhavn, B. SAR500 – A Novel High-Precision Gyroscope / B. Blixhavn [et al.] // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Karlsruhe, Germany, 2010. – pp.5.1-5.13.Апостолюк, В.А. Динамика чувствительного элемента микромеханического гироскопа с дополнительной рамкой / В.А.Апостолюк, А.В.Збруцкий // Гироскопия и навигация. – 1998. – №3. – С. 13-23.Апостолюк, В.А. Динамика чувствительного элемента микромеханического гироскопа с дополнительной рамкой / В.А.Апостолюк, А.В.Збруцкий // Гироскопия и навигация. – 1998. – №3. – С. 13-23.Джашитов, В.Э. Выбор параметров упругого подвеса планарного микромеханического гироскопа на основе определения частот его собственных колебаний / В.Э.Джашитов, В.М.Панкратов // Гироскопия и навигация – 2005. – №4. – С.42-56.Джашитов, В.Э. Выбор параметров упругого подвеса планарного микромеханического гироскопа на основе определения частот его собственных колебаний / В.Э.Джашитов, В.М.Панкратов // Гироскопия и навигация – 2005. – №4. – С.42-56.Евстифеев, М.И. Анализ прочности упругих подвесов микромеханических гироскопов / М.И.Евстифеев, Д.В.Розенцвейн, И.Б.Челпанов// Гироскопия и навигация. – 2009. – № 3. – С.22-34.Евстифеев, М.И. Анализ прочности упругих подвесов микромеханических гироскопов / М.И.Евстифеев, Д.В.Розенцвейн, И.Б.Челпанов// Гироскопия и навигация. – 2009. – № 3. – С.22-34.Евстифеев, М.И. Упругие подвесы инерционных тел в точном приборостроении // Гироскопия и навигация. – 2007. – № 2. – С.63-76.Евстифеев, М.И. Упругие подвесы инерционных тел в точном приборостроении // Гироскопия и навигация. – 2007. – № 2. – С.63-76.Евстифеев, М.И. Анализ контактных взаимодействий в микромеханических гироскопах / М.И. Евстифеев, Д.В. Розенцвейн // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. - 2010. - № 4. - С. 46-50.Евстифеев, М.И. Анализ контактных взаимодействий в микромеханических гироскопах / М.И. Евстифеев, Д.В. Розенцвейн // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. - 2010. - № 4. - С. 46-50.Азгальдов, Г.Г. О квалиметрии / Г.Г.Азгальдов, Э.П.Райхман. – М.: Издательство стандартов, 1972. – 172 с.Азгальдов, Г.Г. О квалиметрии / Г.Г.Азгальдов, Э.П.Райхман. – М.: Издательство стандартов, 1972. – 172 с.Фомин, В.Н. Квалиметрия. Управление качеством. Сертификация: Курс лекций. – М.: ЭКМОС, 2000. – 320 с.Фомин, В.Н. Квалиметрия. Управление качеством. Сертификация: Курс лекций. – М.: ЭКМОС, 2000. – 320 с.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.