gyroscopyГироскопия и навигацияGiroskopiya i Navigatsiya / Gyroscopy and Navigation0869-70352075-0927AO «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор»gyroscopy-563Research ArticleСтатьиРезультаты испытаний установочной партии микромеханических гироскопов RR-типаПешехоновВ. Г.

Пешехонов Владимир Григорьевич, доктор технических наук, профессор, академик РАН, генеральный директор. Президент общественного объединения «Академия навигации и управления движением».

.

НекрасовЯ. А.

Некрасов Яков Анатольевич, кандидат технических наук, начальник сектора. 

ПфлюгерП.

Пфлюгер П., доктор технических наук, директор. 

КергерисЦ.

Кергерис Ц., доктор технических наук, ведущий инженер. 

ХаддараХ.

Хаддара Х., доктор технических наук, директор

ЭльсайедA.

Эльсайед A., доктор технических наук, менеджер по разработке интегральных схем. 

ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург).Russian FederationTronics MicrosystemsFranceSi-Ware SystemsEgyptSi-Ware Systems.Egypt2011180320261913748Copyright © Пешехонов В.Г., Некрасов Я.А., Пфлюгер П., Кергерис Ц., Хаддара Х., Эльсайед A., 20262026Пешехонов В.Г., Некрасов Я.А., Пфлюгер П., Кергерис Ц., Хаддара Х., Эльсайед A.Пешехонов В.Г., Некрасов Я.А., Пфлюгер П., Кергерис Ц., Хаддара Х., Эльсайед A.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.gyroscopy.ru/jour/article/view/563

Представлены результаты разработки компенсационного микромеханического гироскопа RR-типа, состоящего из бескорпусного чувствительного элемента и специализированной интегральной микросхемы. Испытания партии из 50 гироскопов показали, что плотность шума гироскопа при диапазоне измерения 100 о/с не превышает 0,01 о/с/√Гц, а для диапазона 400о/с не выше 0,015 о/с/√Гц. Некоторые гироскопы имели плотность шума ниже 0,003о/с/√Гц при нестабильности нуля 1-2 о/ч.

Статья по докладу на XVII Санкт-Петербургской международной конференции по интегрированным навигационным системам.

A MEMS RR-type gyro consisting of uncased micromechanical sensors and ASIC for the gyro are presented. The results of the pilot batch tests are submitted for the gyro are presented. The results of the pilot batch tests are submitted.

ReferencesPeshekhonov V. G., Nesenyuk L. P. [et al]. The Development and Test Results of a Micromechanical Disc-Shape Gyroscope. Symposium Gyro Technology 2005, Stuttgard, Germany.Peshekhonov V. G., Nesenyuk L. P. [et al]. The Development and Test Results of a Micromechanical Disc-Shape Gyroscope. Symposium Gyro Technology 2005, Stuttgard, Germany.V.G Peshekhonov L.P., Nesenyuk [et al]. Inertial Units on Micromechanical Sensors. Development and Test Results Symposium Gyro Technology 2008, Karlsruhe, Germany.V.G Peshekhonov L.P., Nesenyuk [et al]. Inertial Units on Micromechanical Sensors. Development and Test Results Symposium Gyro Technology 2008, Karlsruhe, Germany.A. Filipe, J. Collet, J. Bon, S. Nicolas, C. Pisella. Reliable Vacuum Packaging and Technologies for High Performance Custom-MEMS Gyros Symposium Gyro Technology 2008, Karlsruhe.A. Filipe, J. Collet, J. Bon, S. Nicolas, C. Pisella. Reliable Vacuum Packaging and Technologies for High Performance Custom-MEMS Gyros Symposium Gyro Technology 2008, Karlsruhe.Сирая Т.Н.. Вариация Алана как оценка погрешности измерения //Гироскопия и навигация, №2(69).- 2010. С. 29-35.Сирая Т.Н.. Вариация Алана как оценка погрешности измерения //Гироскопия и навигация, №2(69).- 2010. С. 29-35.Распопов В.Я.. Микромеханические приборы, М, Машиностроение,2007.- 400 с.Распопов В.Я.. Микромеханические приборы, М, Машиностроение,2007.- 400 с.Petkov V.. High-Order Σ∆ Interface for Micromachined Inertial Sensors. A dissertation University of California, Berkeley, Spring 2004, 103 pp.Petkov V.. High-Order Σ∆ Interface for Micromachined Inertial Sensors. A dissertation University of California, Berkeley, Spring 2004, 103 pp.Kergueris C., Elsayed A. [et al]. High Performance Electronic Drive and Sense System for MEMS Gyros, Sensors Expo, Illinois, June 8-10, 2009.Kergueris C., Elsayed A. [et al]. High Performance Electronic Drive and Sense System for MEMS Gyros, Sensors Expo, Illinois, June 8-10, 2009.IEEE standard specification format guide and test procedure for coriolis vibratory gyros, IEEE, Jan.IEEE standard specification format guide and test procedure for coriolis vibratory gyros, IEEE, Jan.ADIS16130.pdfADIS16130.pdfdownload~9862;2.pdf STIM202 Multi-Axis Gyro ModuleDATASHEET.download~9862;2.pdf STIM202 Multi-Axis Gyro ModuleDATASHEET.Zimmerman S. [et al]. Prototype of MEMS IMU for AHRS Applications, Symposium Gyro Technology 2008, Karlsruhe.Zimmerman S. [et al]. Prototype of MEMS IMU for AHRS Applications, Symposium Gyro Technology 2008, Karlsruhe.Chaumet B. [et al]. A New Silicon Tuning Fork Gyroscope for Aerospace Applications, Symposium Gyro Technology 2009, Karlsruhe.Chaumet B. [et al]. A New Silicon Tuning Fork Gyroscope for Aerospace Applications, Symposium Gyro Technology 2009, Karlsruhe.Беляева Т.А. Методы компенсации квадратурной помехи в микромеханическом гироскопе RR-типа / Дисс. на соискание ученой степени канд. технич. н.- 2009.- 125 с.Беляева Т.А. Методы компенсации квадратурной помехи в микромеханическом гироскопе RR-типа / Дисс. на соискание ученой степени канд. технич. н.- 2009.- 125 с.Беляев Я.В. Методы снижения порога чувствительности микромеханического гироскопа RR-типа / Дисс. на соискание ученой степени канд. техн. н.- 2010.- 130 с.Беляев Я.В. Методы снижения порога чувствительности микромеханического гироскопа RR-типа / Дисс. на соискание ученой степени канд. техн. н.- 2010.- 130 с.Некрасов Я.А. Патент РФ № 2347190. Микромеханический гироскоп (варианты) и способы его настройки, основанные на использовании амплитудно-модулированного квадратурного тестового воздействия.Некрасов Я.А. Патент РФ № 2347190. Микромеханический гироскоп (варианты) и способы его настройки, основанные на использовании амплитудно-модулированного квадратурного тестового воздействия.Henry Wu. System Architecture for Mode-Matching a MEMS Gyroscope Massachusetts Institute of Technology.Henry Wu. System Architecture for Mode-Matching a MEMS Gyroscope Massachusetts Institute of Technology.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.