gyroscopyГироскопия и навигацияGiroskopiya i Navigatsiya / Gyroscopy and Navigation0869-70352075-0927AO «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор»gyroscopy-597Research ArticleСтатьиВлияние ориентации кремниевой структуры на свойства микромеханических акселерометровФедоровМ. В.

Федоров Максим Вячеславович, инженер; аспирант СПбГУАП

ОАО «Гирооптика» (С.-Петербург); Санкт-Петербургский университет аэрокосмического приборостроенияRussian Federation2011230320261949298Copyright © Федоров М.В., 20262026Федоров М.В.Федоров М.В.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.gyroscopy.ru/jour/article/view/597

Исследуется влияние ориентации кремниевой структуры (100), (110), (111) на основные характеристики микромеханических акселерометров при воздействии рабочих температур. В среде ANSYS разработаны модели микромеханических акселерометров осевого и маятникового типов и определены зависимости собственных частот и масштабных коэффициентов от температуры окружающей среды при различных ориентациях кремниевой структуры.

The given work is directed on defining what orientation of silicon structure (100), (110), (111), is most preferable to various types micromechanical accelerometers. As monocrystal silicon is anisotropic, i.e. has various properties in various directions also micromechanical accelerometers various type there will be differently to behave in the same orientation. As a result of the given work models micromechanical accelerometers translation and pendular types are created and by means of computer complex ANSYS are defined: dependence of self-frequencies, dependence of the output characteristic and dependence of scale factor on temperature at various orientations of silicon structure. The basic results of work are conclusions about what orientation of silicon is the most preferable to each of types micromechanical accelerometers. The problem of choosing orientation is very important, and so discussion this problem expect special attention from us. Today in Russia few works discuss this problem, but problem solving, will be able to solve many another problems.

Siliconmicromechanical accelerometerpropertiesorientationdynamic behaviorReferencesРаспопов, В.Я. Микромеханические приборы // М.: Машиностроение, 2007.- С. 83-91.Распопов, В.Я. Микромеханические приборы // М.: Машиностроение, 2007.- С. 83-91.Ваганов, В.И. Интегральные тензопреобразователи // Энергоатомиздат, 1983.- С. 15 -21.Ваганов, В.И. Интегральные тензопреобразователи // Энергоатомиздат, 1983.- С. 15 -21.Попова, И. В. Микромеханические датчики и системы, практические результаты и перспективы развития / И. В. Попова [и др.] // XII Санкт-Петербургская межд. конф. по интегрированным навигационным системам.- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ “Электроприбор”, 2005.- С. 262 – 267.Попова, И. В. Микромеханические датчики и системы, практические результаты и перспективы развития / И. В. Попова [и др.] // XII Санкт-Петербургская межд. конф. по интегрированным навигационным системам.- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ “Электроприбор”, 2005.- С. 262 – 267.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.