gyroscopyГироскопия и навигацияGiroskopiya i Navigatsiya / Gyroscopy and Navigation0869-70352075-0927AO «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор»gyroscopy-613Research ArticleКраткие сообщенияBrief messagesИсследование процессов напыления сверхтонких покрытий на узлы гироприборовБеляевС. Н.

Беляев Сергей Николаевич, кандидат технических наук, старший научный сотрудник

ЩербакА. Г.

Щербак Александр Григорьевич, доктор технических наук, начальник сектора

ГНЦ РФ ОАО «ЦНИИ «Электроприбор» (С.- Петербург).Russian Federation2010250320261825762Copyright © Беляев С.Н., Щербак А.Г., 20262026Беляев С.Н., Щербак А.Г.Беляев С.Н., Щербак А.Г.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.gyroscopy.ru/jour/article/view/613

Представлена технологическая схема и средства оснащения процесса термического напыления пленок хрома толщиной 100− 1000 Å на сферические поверхности прецизионных изделий. Предложены технические решения по методике контроля толщины покрытий непосредственно в процессе напыления. Приведены зависимости электропроводности пленок от их толщины и условий напыления, а также данные по влиянию покрытий на рабочие параметры изделий на примере сплошного бериллиевого ротора. Определены перспективы использования разработанной технологии для решения конкретных задач улучшения рабочих характеристик узлов гироприборов.

The paper presents the process flowchart and equipment for thermal deposition of chrome films 100 – 1000 Å thick on the spherical surfaces of precision devices. Technical solutions to control the coating thickness during the deposition are pro- posed. Dependencies of the film electrical conductivity on its thickness and deposition conditions are given. Potential of the developed method for enhancing the gyro assemblies performance is evaluated.

ReferencesБеляев, С.Н. Технологические особенности выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов // Изв. вузов. Приборостроение. Т. 52, № 3.- 2009.Беляев, С.Н. Технологические особенности выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов // Изв. вузов. Приборостроение. Т. 52, № 3.- 2009.Свойства элементов: Справочник / Под ред. М.Е.Дрица.- М.: Металлургия, 1985.Свойства элементов: Справочник / Под ред. М.Е.Дрица.- М.: Металлургия, 1985.Розбери, Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии / Пер. с англ. - М.: Энергия, 1972.Розбери, Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии / Пер. с англ. - М.: Энергия, 1972.Ландау, Б.Е. Электростатический гироскоп со сплошным ротором // Гироскопия и навигация.-1993.- № 1.Ландау, Б.Е. Электростатический гироскоп со сплошным ротором // Гироскопия и навигация.-1993.- № 1.Майсел, Л. Технология тонких пленок: Справочник / Л. Майсел, Р.Гленг. - М.: Сов. радио, 1977.Майсел, Л. Технология тонких пленок: Справочник / Л. Майсел, Р.Гленг. - М.: Сов. радио, 1977.Хокинг, М. Металлические и керамические покрытия / М.Хокинг, В.Васантасри, П.Сидки.- М.: Мир, 2000.Хокинг, М. Металлические и керамические покрытия / М.Хокинг, В.Васантасри, П.Сидки.- М.: Мир, 2000.Беляев, С.Н. Средства оснащения процессов напыления покрытий на узлы гироприборов, имеющие форму тел вращения / С.Н.Беляев, А.Г.Щербак // Х конференция молодых ученых «Навигация и управление движением».- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2008.Беляев, С.Н. Средства оснащения процессов напыления покрытий на узлы гироприборов, имеющие форму тел вращения / С.Н.Беляев, А.Г.Щербак // Х конференция молодых ученых «Навигация и управление движением».- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2008.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.