<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE article PUBLIC "-//NLM//DTD JATS (Z39.96) Journal Publishing DTD v1.3 20210610//EN" "JATS-journalpublishing1-3.dtd">
<article article-type="research-article" dtd-version="1.3" xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xml:lang="ru"><front><journal-meta><journal-id journal-id-type="publisher-id">gyroscopy</journal-id><journal-title-group><journal-title xml:lang="ru">Гироскопия и навигация</journal-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Giroskopiya i Navigatsiya / Gyroscopy and Navigation</trans-title></trans-title-group></journal-title-group><issn pub-type="ppub">0869-7035</issn><issn pub-type="epub">2075-0927</issn><publisher><publisher-name>AO «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор»</publisher-name></publisher></journal-meta><article-meta><article-id custom-type="edn" pub-id-type="custom">XGGDXM</article-id><article-id custom-type="elpub" pub-id-type="custom">gyroscopy-669</article-id><article-categories><subj-group subj-group-type="heading"><subject>Research Article</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="ru"><subject>Статьи</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title>Навигационные акселерометры: опыт разработки</article-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Navigation Accelerometers: Development Experience</trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Левин</surname><given-names>С. Л.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Levin</surname><given-names>S. L.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Левин Сергей Львович. Кандидат технических наук, начальник отдела.</p></bio><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Волобуев</surname><given-names>С. А.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Volobuev</surname><given-names>S. А.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Волобуев Сергей Алексеевич. Главный специалист.</p></bio><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Якушина</surname><given-names>Е. А.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Yakushina</surname><given-names>Е. А.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Якушина Евгения Александровна. Младший научный сотрудник, аспирант.</p></bio><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib></contrib-group><aff-alternatives id="aff-1"><aff xml:lang="ru"><institution>АО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург).</institution><country>Россия</country></aff><aff xml:lang="en"><institution>Concern CSRI Elektropribor, JSC (St. Petersburg)</institution><country>Russian Federation</country></aff></aff-alternatives><pub-date pub-type="collection"><year>2026</year></pub-date><pub-date pub-type="epub"><day>13</day><month>07</month><year>2026</year></pub-date><volume>34</volume><issue>2</issue><fpage>128</fpage><lpage>150</lpage><permissions><copyright-statement>Copyright &amp;#x00A9; Левин С.Л., Волобуев С.А., Якушина Е.А., 2026</copyright-statement><copyright-year>2026</copyright-year><copyright-holder xml:lang="ru">Левин С.Л., Волобуев С.А., Якушина Е.А.</copyright-holder><copyright-holder xml:lang="en">Levin S.L., Volobuev S.А., Yakushina Е.А.</copyright-holder><license xml:lang="ru" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.</license-p></license><license xml:lang="en" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.</license-p></license></permissions><self-uri xlink:href="https://www.gyroscopy.ru/jour/article/view/669">https://www.gyroscopy.ru/jour/article/view/669</self-uri><abstract><p>В статье дан обзор и сравнительный анализ конструкций акселерометров, разработанных в АО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» за последние десятилетия. Рассмотрены шесть видов таких устройств: поплавковые с жидкостной разгрузкой опор; «сухие» маятниковые компенсационные; с бесконтактным (магнитным и электростатическим) подвесом; криогенные и микромеханические. Для каждого вида описан принцип действия, а также конструктивные особенности, точностные характеристики и области применения. Показана эволюция подходов к снижению влияния механического трения – от гидростатической разгрузки до полного отказа от механического контакта. Отдельное внимание уделено перспективным разработкам: криогенным и электростатическим акселерометрам для космических научных экспериментов, а кроме того, современным микромеханическим датчикам для навигации и потребительской электроники. Приведены результаты сопоставления отечественных и зарубежных аналогов. Сделан вывод о рациональном сочетании различных типов акселерометров в зависимости от требуемой точности, условий эксплуатации и стоимости.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="en"><p>This article provides an overview and comparative analysis of accelerometer designs developed at Concern CSRI Elektropribor over the past decades. Six key technological trends are considered: floated accelerometers with pivot and jewel bearings, dry pendulum force-rebalanced accelerometers, accelerometers with contactless (magnetic and electrostatic) suspension, cryogenic and micromechanical (MEMS) accelerometers. The operating principles, design features, accuracy characteristics, and fields of application are described for each type. The evolution of approaches to reducing the impact of mechanical friction is demonstrated, from hydrostatic unloading to complete elimination of mechanical contact. Special attention is given to promising projects: cryogenic and electrostatic accelerometers for space research experiments, as well as modern micromechanical (MEMS) sensors for navigation and consumer electronics. A comparison of domestic and foreign counterparts is presented. The analysis has led to the conclusion on the rational integration of different types of accelerometers, depending on the required accuracy, operating conditions, and cost.</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>Акселерометр</kwd><kwd>кажущееся ускорение</kwd><kwd>линейное ускорение.</kwd></kwd-group><kwd-group xml:lang="en"><kwd>Аccelerometer</kwd><kwd>specific force</kwd><kwd>linear acceleration.</kwd></kwd-group></article-meta></front><back><ref-list><title>References</title><ref id="cit1"><label>1</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Опыт проектирования и изготовления блоков измерителей линейного ускорения на кварцевых маятниковых акселерометрах с аналоговой и цифровой системами управления / С. Ф. Нахов [и др.]. Саратов: Сарат. гос. техн. ун-т, 2021. 240 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Опыт проектирования и изготовления блоков измерителей линейного ускорения на кварцевых маятниковых акселерометрах с аналоговой и цифровой системами управления / С. Ф. Нахов [и др.]. Саратов: Сарат. гос. техн. ун-т, 2021. 240 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit2"><label>2</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Коновалов С.Ф. Навигационные акселерометры : учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2023. 328 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Коновалов С.Ф. Навигационные акселерометры : учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2023. 328 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit3"><label>3</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Анучин О.Н., Емельянцев Г.И. Интегрированные системы ориентации и навигации для морских подвижных объектов / под общ. ред. чл.-кор. РАН В.Г. Пешехонова. Изд. 2-е, перераб. и испр. СПб.: АО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», 357 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Анучин О.Н., Емельянцев Г.И. Интегрированные системы ориентации и навигации для морских подвижных объектов / под общ. ред. чл.-кор. РАН В.Г. Пешехонова. Изд. 2-е, перераб. и испр. СПб.: АО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», 357 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit4"><label>4</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Aerospace sensors / ed. by A. Nebylov. New York : Momentumpress, LLC, 2013. 348 p.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Aerospace sensors / ed. by A. Nebylov. New York : Momentumpress, LLC, 2013. 348 p.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit5"><label>5</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Волобуев С.А., Якушина Е.А., Драницина Е.В. Тунин И.С. Маятниковый компенсационный акселерометр: результаты разработки и испытаний // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2026. Т. 69. № 3. С. 242–252. DOI: 10.17586/0021-3454-2026-69-3-242-252.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Волобуев С.А., Якушина Е.А., Драницина Е.В. Тунин И.С. Маятниковый компенсационный акселерометр: результаты разработки и испытаний // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2026. Т. 69. № 3. С. 242–252. DOI: 10.17586/0021-3454-2026-69-3-242-252.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit6"><label>6</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Синельников А.Е. Низкочастотные линейные акселерометры. Методы и средства проверки и градуировки. М. : Изд-во стандартов, 1979. 116 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Синельников А.Е. Низкочастотные линейные акселерометры. Методы и средства проверки и градуировки. М. : Изд-во стандартов, 1979. 116 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit7"><label>7</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Мельников В.Е. Электромеханические преобразователи на базе кварцевого стекла. М.: Машиностроение, 1984. 160с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Мельников В.Е. Электромеханические преобразователи на базе кварцевого стекла. М.: Машиностроение, 1984. 160с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit8"><label>8</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Патент RU 2859308 С1. Компенсационный маятниковый акселерометр / Волобуев С.А., Левин С.Л., Махаев Е.А., Святый В.В., Якушина Е.А.; заявитель и патентообладатель АО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (RU). № 2025133534; заявл. 01.12.2025; опубл. 31.03.2026. Бюл. №10.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Патент RU 2859308 С1. Компенсационный маятниковый акселерометр / Волобуев С.А., Левин С.Л., Махаев Е.А., Святый В.В., Якушина Е.А.; заявитель и патентообладатель АО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (RU). № 2025133534; заявл. 01.12.2025; опубл. 31.03.2026. Бюл. №10.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit9"><label>9</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Якушина Е.А., Романенко С.Г. О влиянии конструктивных особенностей устройства автокомпенсации на погрешности прецизионного измерителя малых углов наклона // сб. материалов XXXI Санкт-Петербургской международной конференции по интегрированным навигационным системам. СПб. : АО «Концерн «ЦНИИ Электроприбор», 2025.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Якушина Е.А., Романенко С.Г. О влиянии конструктивных особенностей устройства автокомпенсации на погрешности прецизионного измерителя малых углов наклона // сб. материалов XXXI Санкт-Петербургской международной конференции по интегрированным навигационным системам. СПб. : АО «Концерн «ЦНИИ Электроприбор», 2025.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit10"><label>10</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Матвеев В.В., Распопов В.Я. Основы построения бесплатформенных инерциальных навигационных систем. СПб.: ГНЦ РФ ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», 2009. 280 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Матвеев В.В., Распопов В.Я. Основы построения бесплатформенных инерциальных навигационных систем. СПб.: ГНЦ РФ ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», 2009. 280 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit11"><label>11</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Технические характеристики акселерометров ПАО «МИЭА». URL: http://korpus64.ru/.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Технические характеристики акселерометров ПАО «МИЭА». URL: http://korpus64.ru/.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit12"><label>12</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Технические характеристики акселерометров НПК «Электрооптика». URL: http://electrooptika.com/.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Технические характеристики акселерометров НПК «Электрооптика». URL: http://electrooptika.com/.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit13"><label>13</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Технические характеристики акселерометров фирмы Honeywell. URL: http://Honeywell.com/.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Технические характеристики акселерометров фирмы Honeywell. URL: http://Honeywell.com/.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit14"><label>14</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Технические характеристики акселерометров фирмы SENSSET. URL: http://sensset.ru/.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Технические характеристики акселерометров фирмы SENSSET. URL: http://sensset.ru/.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit15"><label>15</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Технические характеристики акселерометров фирмы ERICCO. URL: http://ericcointernational.com/.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Технические характеристики акселерометров фирмы ERICCO. URL: http://ericcointernational.com/.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit16"><label>16</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">El-Sheimy, N., Youssef, A., Inertial sensors technologies for navigation applications: state of the art and future trends, Satell. Navig., 2020, vol. 1, no. 2, https://doi.org/10.1186/s43020-019-0001-5/.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">El-Sheimy, N., Youssef, A., Inertial sensors technologies for navigation applications: state of the art and future trends, Satell. Navig., 2020, vol. 1, no. 2, https://doi.org/10.1186/s43020-019-0001-5/.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit17"><label>17</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Titterton, D., Weston, J.L. Strapdown inertial navigation technology, 2nd ed. London: IET, 2011, vol. 17, 581 p.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Titterton, D., Weston, J.L. Strapdown inertial navigation technology, 2nd ed. London: IET, 2011, vol. 17, 581 p.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit18"><label>18</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Патент RU 2082173 C1. Пространственный акселерометр с электромагнитным подвесом / Буравлев А.П., Дудницын Б.В., Левин Л.А., Мумин О.Л., Сумароков В. В.; заявитель и патентообладатель Мумин О. Л. № 9400796328; заявл. 02.03.1997; опубл. 20.06.1997. Бюл. №17.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Патент RU 2082173 C1. Пространственный акселерометр с электромагнитным подвесом / Буравлев А.П., Дудницын Б.В., Левин Л.А., Мумин О.Л., Сумароков В. В.; заявитель и патентообладатель Мумин О. Л. № 9400796328; заявл. 02.03.1997; опубл. 20.06.1997. Бюл. №17.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit19"><label>19</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Дудницын Б.В., Мумин О.Л., Рябова Л.П., Сумароков В.В., Топчий А.И. Магнитный сферический трехкомпонентный акселерометр с цифровым выходом // Гироскопия и навигация. 2003. № 1 (40). С. 82–88.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Дудницын Б.В., Мумин О.Л., Рябова Л.П., Сумароков В.В., Топчий А.И. Магнитный сферический трехкомпонентный акселерометр с цифровым выходом // Гироскопия и навигация. 2003. № 1 (40). С. 82–88.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit20"><label>20</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Boudon, Y. Barlier, F., Bernard, A., Juillerat, R., Mainguy, A.M., Walch, J.J., Synthesis of flight results of the Cactus accelerometer for accelerations below 10–9g, Acta Astronautica, 1979, vol. 6, no. 11, рр. 1387–1398.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Boudon, Y. Barlier, F., Bernard, A., Juillerat, R., Mainguy, A.M., Walch, J.J., Synthesis of flight results of the Cactus accelerometer for accelerations below 10–9g, Acta Astronautica, 1979, vol. 6, no. 11, рр. 1387–1398.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit21"><label>21</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Toda, R. [et al.], Electrostatically levitated spherical 3-axis accelerometer, Proc. of 15th IEEE Int. Conf. on Micro Elktro Mechanical Systems (MEMS), рр. 710–713.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Toda, R. [et al.], Electrostatically levitated spherical 3-axis accelerometer, Proc. of 15th IEEE Int. Conf. on Micro Elktro Mechanical Systems (MEMS), рр. 710–713.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit22"><label>22</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Peresty, R., Chvojka, M., Fedosov, V., Use of the highly sensitive electrostatic accelerometer for orbit perturbation effects investigation on board of LEO spacecraft, Proceedings of the 61st IAC, Prague, 2010, IAC-10.B1.3.2.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Peresty, R., Chvojka, M., Fedosov, V., Use of the highly sensitive electrostatic accelerometer for orbit perturbation effects investigation on board of LEO spacecraft, Proceedings of the 61st IAC, Prague, 2010, IAC-10.B1.3.2.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit23"><label>23</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Zhu, Z. [et al.], Electrostatic gravity gradiometer design for the future mission, Advances in Space Research, 2013, vol. 51. рр. 2269–2276.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Zhu, Z. [et al.], Electrostatic gravity gradiometer design for the future mission, Advances in Space Research, 2013, vol. 51. рр. 2269–2276.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit24"><label>24</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Краснов А.А., Розенцвейн В.Г. Современное состояние и перспективы развития электростатических акселерометров космического применения // Гироскопия и навигация. 2022. Т. 30. № 2 (117). С. 3–33. DOI: 10.17285/0869-7035.0088.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Краснов А.А., Розенцвейн В.Г. Современное состояние и перспективы развития электростатических акселерометров космического применения // Гироскопия и навигация. 2022. Т. 30. № 2 (117). С. 3–33. DOI: 10.17285/0869-7035.0088.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit25"><label>25</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Сумароков В.В. Электростатический подвес инерциальных чувствительных элементов. СПб.: ГНЦ РФ АО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», 2026. 54 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Сумароков В.В. Электростатический подвес инерциальных чувствительных элементов. СПб.: ГНЦ РФ АО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», 2026. 54 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit26"><label>26</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">DiFrancesco, D., Advances and Challenges in the Development and Deployment of Gravity Gradiometer Systems, EGM 2007 International Workshop Innovation in EM, Grav and Mag Methods: a new Perspective for Exploration, Capri, Italy, 2007.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">DiFrancesco, D., Advances and Challenges in the Development and Deployment of Gravity Gradiometer Systems, EGM 2007 International Workshop Innovation in EM, Grav and Mag Methods: a new Perspective for Exploration, Capri, Italy, 2007.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit27"><label>27</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Кукушкин А.В., Левин С.Л., Святый В.В., Сумароков В.В. Высокоточный электростатический акселерометр // Сб. тр. XIV Всерос. совещания по проблемам управления. М.: Ин-т проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН, 2024.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Кукушкин А.В., Левин С.Л., Святый В.В., Сумароков В.В. Высокоточный электростатический акселерометр // Сб. тр. XIV Всерос. совещания по проблемам управления. М.: Ин-т проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН, 2024.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit28"><label>28</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Albertella, A., Migkiaccio, F., Sanso, F., GOCE: the earth gravity field by space gradiometry, Celestial Mechanics and Dynamical Astronomy, 2002, vol. 83, рр. 1–15, https://doi.org/10.1023/A:1020104624752/</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Albertella, A., Migkiaccio, F., Sanso, F., GOCE: the earth gravity field by space gradiometry, Celestial Mechanics and Dynamical Astronomy, 2002, vol. 83, рр. 1–15, https://doi.org/10.1023/A:1020104624752/</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit29"><label>29</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Жернаков О.А., Фрезинский В. С. Криогенные чувствительные элементы инерциальных навигационных систем: обзор. Л.: Румб, 1988.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Жернаков О.А., Фрезинский В. С. Криогенные чувствительные элементы инерциальных навигационных систем: обзор. Л.: Румб, 1988.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit30"><label>30</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Oelfke, W.С, Hamilton, W.О, Superconducting accelerometer for study of gravitation and gravitational radiation, Acta Astronautika, 1978, vol. 5, is. 1–2, рр. 87–96, https://doi.org/10.1016/0094-5765(78)90037-1/.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Oelfke, W.С, Hamilton, W.О, Superconducting accelerometer for study of gravitation and gravitational radiation, Acta Astronautika, 1978, vol. 5, is. 1–2, рр. 87–96, https://doi.org/10.1016/0094-5765(78)90037-1/.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit31"><label>31</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Евстифеев М.И. Методы проектирования конструкций микромеханических гироскопов. СПб.: Университет ИТМО, 2019.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Евстифеев М.И. Методы проектирования конструкций микромеханических гироскопов. СПб.: Университет ИТМО, 2019.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit32"><label>32</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Лукьянов Д.П. Микромеханические акселерометры и микросенсоры на ПАВ. СПб.: СПбГЭТУ (ЛЭТИ), 2005.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Лукьянов Д.П. Микромеханические акселерометры и микросенсоры на ПАВ. СПб.: СПбГЭТУ (ЛЭТИ), 2005.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit33"><label>33</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Mamleyev, E.R., Voigt, A., Moazenzadeh, A., Korvink, J.G., Kohl, M., Poletkin K., A Technological Approach for Miniaturization of Three-Dimensional Inductive Levitation Microsuspensions, IEEE Magnetics Letters, 2022, vol. 13, pp. 1–4, https://doi.org/10.1109/LMAG.2022.3174522/.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Mamleyev, E.R., Voigt, A., Moazenzadeh, A., Korvink, J.G., Kohl, M., Poletkin K., A Technological Approach for Miniaturization of Three-Dimensional Inductive Levitation Microsuspensions, IEEE Magnetics Letters, 2022, vol. 13, pp. 1–4, https://doi.org/10.1109/LMAG.2022.3174522/.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit34"><label>34</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Voldman, J., Case Study: A Capacitive Accelerometer, MIT Course Materials, 2007.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Voldman, J., Case Study: A Capacitive Accelerometer, MIT Course Materials, 2007.</mixed-citation></citation-alternatives></ref></ref-list><fn-group><fn fn-type="conflict"><p>The authors declare that there are no conflicts of interest present.</p></fn></fn-group></back></article>
