Оценка характеристик микромеханических инерциальных датчиков на основе автоколебательных систем
Abstract
The issues of development of micromechanical inertial sensors operating in the mode of self-oscillation are considered. The ways of the analysis of parameters of such sensors based on the analysis of information and energy characteristics, as well as the feasibility of micromechanical devices using the new element base: optoelectronic position sensors and magnetoelectric compensating converters. The advantages of such devices are described.
About the Author
А. Скалон
ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения. (С.-Петербург).
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Грановский В.А., Скалон А.И. Метрологическая проблема микроэлектромеханических систем и методологические основы ее решения // Измерения, контроль, автоматизация.- 2006.- №8.
2. Скалон А.И. Пути повышения чувствительности микроминиатюрных датчиков первичной информации систем управления подвижных объектов //Измерительная техника.1998.-№3.
3. Скалон А.И., Рыбаков В.И., Жуков В.Н. и др. Принципы построения и конструкции микро-механических измерителей параметров движения.//Малые космические аппараты. Выпуск
4. Скалон А.И. Общность проектирования и расчета элементов микроминиатюрных и микромеханических датчиков // Датчики и системы. 2002, № 9. С.13 – 16.
5. Скалон А.И. Разработка принципов построения микромеханических датчиков первичной информации интегрального уравновешивания с использованием оптоэлектронных и электромагнитных элементов//Микросистемная техника 2004, №4
6. Инфраструктура малых космических аппаратов / Под ред. В.Ф. Фатеева.- М.: Радиотехника, 2011.
7. Распопов В.Я. Микромеханические приборы.- М. Машиностроение, 2007.
8. Richard L. Waters*, Mark Fralick, David Jacobs, Sherry Abassi, Ricardo Dao, Dave Carbonari, Greg Maurer. Factors Influencing the Noise Floor and Stability of a Time Domain Switched Inertial Device* Senior Member IEEE Lumedyne Technologies Inc. 2012.
9. Скалон А.И. Разработка принципов построения микромеханических датчиков первичной ин-формации интегрального уравновешивания с использованием оптоэлектронных и электромагнитных элементов // Микросистемная техника.- 2004.- № 4.
10. Вольфсон Г.Б Скалон А.И. О классе точности элементной базы в автокомпенсационных схемах гравитационных вариометров // Судостроительная промышленность. Сер. Навигация и гироскопия. - 1991.-Вып. 1.
11. Скалон А.И. Особенности динамических процессов в измерительных устройствах, работающих в режиме автоколебаний // Измерительная техника. - 1994.-№ 8.
12. Скалон А.И. Тыртычный А.А. Анализ характеристик компенсирующих преобразователей микромеханических инерциальных датчиков // Датчики и системы. - 2009. -№ 2.
13. Скалон А.И., Тыртычный А.А. Микромеханический датчик угловой скорости. Патент на изобретение №2410701 МКП G01P 9/04, G01P 15/00. Зарегистрировано в Госреестре РФ27.01.2011.
14. Скалон А.И., Орлов А.С., Завиновский Л.А. Угловой акселерометр. Патент на изобретение №2399915 G01P 15/00. Зарегистрировано в Госреестре РФ 27.01.2011.
15. Скалон А.И., Калаурный Я.Н., Григорьев А. В. Линейный микроакселерометр / Патент на изобретение № 2410703. Зарегистрировано в Госреестре РФ27.01.2011.
Review
For citations:
. Giroskopiya i Navigatsiya. 2014;22(3):73-83. (In Russ.)
Views:
12
JATS XML
Email this article 