Исследование электромеханической модели микромеханического гироскопа R-R типа с учетом вибраций основания
Abstract
The results of developing the electromechanical model of a R-R type MEMS Gyro are given. This model considers nonlinear effects and inequality of the drive and sense elements parameters. The reasons for the appearance of resonance peaks on the sub-multiple harmonics with the base vibration are investigated and requirements for the characteristics of the control system elements are defined.
About the Authors
М. Евстифеев
ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург).
Russian Federation
Russian Federation
А. Ковалев
ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург).
Russian Federation
Russian Federation
Д. Елисеев
Елисеев Даниил Павлович, инженер-конструктор.
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Пешехонов, В.Г. Современное состояние и перспективы развития гироскопических систем // Гироскопия и навигация. - 2011. - № 1. - С.3-16.
2. Xie H., Fedder G.K. Integrated Microelectromechanical Gyroscopes // Journal of Aerospace Engineering. - April 2003. - pp. 65-75.
3. Тузов, А. Датчики для измерения параметров движения на основе МЭМС-технологии. Ч. 2. Инерциальные датчики высокой точности // Электроника. - 2011. - № 1. - С.2-5.
4. Евстифеев, М.И. Вопросы обеспечения стойкости микромеханических гироскопов при механических воздействиях / М.И. Евстифеев, И.Б. Челпанов // Гироскопия и навигация. - 2013. - № 1. - С.-.
5. Weinberg, H. Gyro Mechanical Performance: The Most Important Parameter // Technical Article MS-2158. Analog Devices, Inc. - September 2011. - Pp.1-5.
6. Результаты испытаний микромеханических гироскопов при механических воздействиях / М.И. Евстифеев [и др.] // Гироскопия и навигация. - 2011. - №.1. - С.49-58.
7. Евстифеев, М.И. Анализ электромеханической модели микромеханического гироскопа RR-типа / М.И. Евстифеев, Д.П. Елисеев, А.С. Ковалев // Материалы XХVIII конференции памяти выдающегося конструктора гироскопических приборов Н.Н.Острякова. - СПб.: ГНЦ РФ ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», 2012. - 13 с.
8. Ковалев, А.С. Анализ уточненной математической модели ММГ RR-типа при воздействии линейных вибраций / А.С. Ковалев, Д.П. Елисеев, А.А. Белогуров / Реф. докл. на XIV конференции молодых ученых «Навигация и управление движение» // Гироскопия и навигация. - 2012. - №2. - С.167.
9. Исследование динамики микромеханического гироскопа при механических воздействиях / М.И. Евстифеев [и др.] // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО - 2011. - №4. - С.72-76.
10. Беляева, Т.А. Подавление квадратурной помехи в микромеханическом гироскопе RR типа с помощью электродов, расположенных над зубцовой зоной / Т.А. Беляева, Я.А. Некрасов // Гироскопия и навигация. - 2008. - №1. - С.82-90.
11. U.S. Patent 2005/0139005 A1. Micromachined Sensor with Quadrature Suppression / Geen J.; Ana-log Devices. - Jun.30, 2005. - 24 p.
12. U.S. Patent 8266961. Inertial Sensors with Reduced Sensitivity to Quadrature Errors and Micromachining Inaccuracies / Kuang J., Geen J.; Analog Devices. - Sep.18, 2012. - 17 p.
13. Ковалев, А.С., Методы снижения влияния разбросов конструктивных параметров микромеханического гироскопа на его характеристики / А.С. Ковалев, Е.В. Логовская // Материалы X конференции молодых ученых «Навигация и управление движением». - 2009. - С.362-369.
14. Евстифеев, М.И. Проблемы расчета и проектирования микромеханических гироскопов // Гироскопия и навигация. - 2004. - №1. - С.27-39.
15. Евстифеев, М.И. Анализ прочности упругих подвесов микромеханических гироскопов / М.И. Евстифеев, Д.В. Розенцвейн, И.Б. Челпанов // Гироскопия и навигация. - 2009. - №.3 - С.22-34.
Review
For citations:
, , . Giroskopiya i Navigatsiya. 2013;21(3):24-32. (In Russ.)
Views:
17
JATS XML
Email this article 