Результаты испытаний установочной партии микромеханических гироскопов RR-типа
Abstract
A MEMS RR-type gyro consisting of uncased micromechanical sensors and ASIC for the gyro are presented. The results of the pilot batch tests are submitted for the gyro are presented. The results of the pilot batch tests are submitted.
About the Authors
В. Пешехонов
ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург).
Russian Federation
Russian Federation
Я. Некрасов
ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург).
Russian Federation
Russian Federation
П. Пфлюгер
Tronics Microsystems
France
France
Ц. Кергерис
Tronics Microsystems
France
France
Х. Хаддара
Si-Ware Systems
Egypt
Egypt
A. Эльсайед
Si-Ware Systems.
Egypt
Egypt
References
1. Peshekhonov V. G., Nesenyuk L. P. [et al]. The Development and Test Results of a Micromechanical Disc-Shape Gyroscope. Symposium Gyro Technology 2005, Stuttgard, Germany.
2. V.G Peshekhonov L.P., Nesenyuk [et al]. Inertial Units on Micromechanical Sensors. Development and Test Results Symposium Gyro Technology 2008, Karlsruhe, Germany.
3. A. Filipe, J. Collet, J. Bon, S. Nicolas, C. Pisella. Reliable Vacuum Packaging and Technologies for High Performance Custom-MEMS Gyros Symposium Gyro Technology 2008, Karlsruhe.
4. Сирая Т.Н.. Вариация Алана как оценка погрешности измерения //Гироскопия и навигация, №2(69).- 2010. С. 29-35.
5. Распопов В.Я.. Микромеханические приборы, М, Машиностроение,2007.- 400 с.
6. Petkov V.. High-Order Σ∆ Interface for Micromachined Inertial Sensors. A dissertation University of California, Berkeley, Spring 2004, 103 pp.
7. Kergueris C., Elsayed A. [et al]. High Performance Electronic Drive and Sense System for MEMS Gyros, Sensors Expo, Illinois, June 8-10, 2009.
8. IEEE standard specification format guide and test procedure for coriolis vibratory gyros, IEEE, Jan.
9.
10. ADIS16130.pdf
11. download~9862;2.pdf STIM202 Multi-Axis Gyro ModuleDATASHEET.
12. Zimmerman S. [et al]. Prototype of MEMS IMU for AHRS Applications, Symposium Gyro Technology 2008, Karlsruhe.
13. Chaumet B. [et al]. A New Silicon Tuning Fork Gyroscope for Aerospace Applications, Symposium Gyro Technology 2009, Karlsruhe.
14. Беляева Т.А. Методы компенсации квадратурной помехи в микромеханическом гироскопе RR-типа / Дисс. на соискание ученой степени канд. технич. н.- 2009.- 125 с.
15. Беляев Я.В. Методы снижения порога чувствительности микромеханического гироскопа RR-типа / Дисс. на соискание ученой степени канд. техн. н.- 2010.- 130 с.
16. Некрасов Я.А. Патент РФ № 2347190. Микромеханический гироскоп (варианты) и способы его настройки, основанные на использовании амплитудно-модулированного квадратурного тестового воздействия.
17. Henry Wu. System Architecture for Mode-Matching a MEMS Gyroscope Massachusetts Institute of Technology.
Review
For citations:
, , , , , . Giroskopiya i Navigatsiya. 2011;19(1):37-48. (In Russ.)
Views:
18
JATS XML
Email this article 