Результаты испытаний установочной партии микромеханических гироскопов RR-типа
Аннотация
Представлены результаты разработки компенсационного микромеханического гироскопа RR-типа, состоящего из бескорпусного чувствительного элемента и специализированной интегральной микросхемы. Испытания партии из 50 гироскопов показали, что плотность шума гироскопа при диапазоне измерения 100 о/с не превышает 0,01 о/с/√Гц, а для диапазона 400о/с не выше 0,015 о/с/√Гц. Некоторые гироскопы имели плотность шума ниже 0,003о/с/√Гц при нестабильности нуля 1-2 о/ч.
Статья по докладу на XVII Санкт-Петербургской международной конференции по интегрированным навигационным системам.
Об авторах
В. Г. Пешехонов
ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург).
Россия
Россия
Пешехонов Владимир Григорьевич, доктор технических наук, профессор, академик РАН, генеральный директор. Президент общественного объединения «Академия навигации и управления движением».
.
Я. А. Некрасов
ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург).
Россия
Россия
Некрасов Яков Анатольевич, кандидат технических наук, начальник сектора.
П. Пфлюгер
Tronics Microsystems
Франция
Франция
Пфлюгер П., доктор технических наук, директор.
Ц. Кергерис
Tronics Microsystems
Франция
Франция
Кергерис Ц., доктор технических наук, ведущий инженер.
Х. Хаддара
Si-Ware Systems
Египет
Египет
Хаддара Х., доктор технических наук, директор
A. Эльсайед
Si-Ware Systems.
Египет
Египет
Эльсайед A., доктор технических наук, менеджер по разработке интегральных схем.
Список литературы
1. Peshekhonov V. G., Nesenyuk L. P. [et al]. The Development and Test Results of a Micromechanical Disc-Shape Gyroscope. Symposium Gyro Technology 2005, Stuttgard, Germany.
2. V.G Peshekhonov L.P., Nesenyuk [et al]. Inertial Units on Micromechanical Sensors. Development and Test Results Symposium Gyro Technology 2008, Karlsruhe, Germany.
3. A. Filipe, J. Collet, J. Bon, S. Nicolas, C. Pisella. Reliable Vacuum Packaging and Technologies for High Performance Custom-MEMS Gyros Symposium Gyro Technology 2008, Karlsruhe.
4. Сирая Т.Н.. Вариация Алана как оценка погрешности измерения //Гироскопия и навигация, №2(69).- 2010. С. 29-35.
5. Распопов В.Я.. Микромеханические приборы, М, Машиностроение,2007.- 400 с.
6. Petkov V.. High-Order Σ∆ Interface for Micromachined Inertial Sensors. A dissertation University of California, Berkeley, Spring 2004, 103 pp.
7. Kergueris C., Elsayed A. [et al]. High Performance Electronic Drive and Sense System for MEMS Gyros, Sensors Expo, Illinois, June 8-10, 2009.
8. IEEE standard specification format guide and test procedure for coriolis vibratory gyros, IEEE, Jan.
9.
10. ADIS16130.pdf
11. download~9862;2.pdf STIM202 Multi-Axis Gyro ModuleDATASHEET.
12. Zimmerman S. [et al]. Prototype of MEMS IMU for AHRS Applications, Symposium Gyro Technology 2008, Karlsruhe.
13. Chaumet B. [et al]. A New Silicon Tuning Fork Gyroscope for Aerospace Applications, Symposium Gyro Technology 2009, Karlsruhe.
14. Беляева Т.А. Методы компенсации квадратурной помехи в микромеханическом гироскопе RR-типа / Дисс. на соискание ученой степени канд. технич. н.- 2009.- 125 с.
15. Беляев Я.В. Методы снижения порога чувствительности микромеханического гироскопа RR-типа / Дисс. на соискание ученой степени канд. техн. н.- 2010.- 130 с.
16. Некрасов Я.А. Патент РФ № 2347190. Микромеханический гироскоп (варианты) и способы его настройки, основанные на использовании амплитудно-модулированного квадратурного тестового воздействия.
17. Henry Wu. System Architecture for Mode-Matching a MEMS Gyroscope Massachusetts Institute of Technology.
Рецензия
Для цитирования:
Пешехонов В.Г., Некрасов Я.А., Пфлюгер П., Кергерис Ц., Хаддара Х., Эльсайед A. Результаты испытаний установочной партии микромеханических гироскопов RR-типа. Гироскопия и навигация. 2011;19(1):37-48.
Просмотров:
18
JATS XML
Послать статью по эл. почте 