Исследование процессов напыления сверхтонких покрытий на узлы гироприборов
Аннотация
Представлена технологическая схема и средства оснащения процесса термического напыления пленок хрома толщиной 100− 1000 Å на сферические поверхности прецизионных изделий. Предложены технические решения по методике контроля толщины покрытий непосредственно в процессе напыления. Приведены зависимости электропроводности пленок от их толщины и условий напыления, а также данные по влиянию покрытий на рабочие параметры изделий на примере сплошного бериллиевого ротора. Определены перспективы использования разработанной технологии для решения конкретных задач улучшения рабочих характеристик узлов гироприборов.
Об авторах
С. Н. Беляев
ГНЦ РФ ОАО «ЦНИИ «Электроприбор» (С.- Петербург).
Россия
Россия
Беляев Сергей Николаевич, кандидат технических наук, старший научный сотрудник
А. Г. Щербак
ГНЦ РФ ОАО «ЦНИИ «Электроприбор» (С.- Петербург).
Россия
Россия
Щербак Александр Григорьевич, доктор технических наук, начальник сектора
Список литературы
1. Беляев, С.Н. Технологические особенности выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов // Изв. вузов. Приборостроение. Т. 52, № 3.- 2009.
2. Свойства элементов: Справочник / Под ред. М.Е.Дрица.- М.: Металлургия, 1985.
3. Розбери, Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии / Пер. с англ. - М.: Энергия, 1972.
4. Ландау, Б.Е. Электростатический гироскоп со сплошным ротором // Гироскопия и навигация.-1993.- № 1.
5. Майсел, Л. Технология тонких пленок: Справочник / Л. Майсел, Р.Гленг. - М.: Сов. радио, 1977.
6. Хокинг, М. Металлические и керамические покрытия / М.Хокинг, В.Васантасри, П.Сидки.- М.: Мир, 2000.
7. Беляев, С.Н. Средства оснащения процессов напыления покрытий на узлы гироприборов, имеющие форму тел вращения / С.Н.Беляев, А.Г.Щербак // Х конференция молодых ученых «Навигация и управление движением».- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2008.
Рецензия
Для цитирования:
Беляев С.Н., Щербак А.Г. Исследование процессов напыления сверхтонких покрытий на узлы гироприборов. Гироскопия и навигация. 2010;18(2):57-62.
Просмотров:
16
JATS XML
Послать статью по эл. почте 