Исследование процессов напыления сверхтонких покрытий на узлы гироприборов
Abstract
The paper presents the process flowchart and equipment for thermal deposition of chrome films 100 – 1000 Å thick on the spherical surfaces of precision devices. Technical solutions to control the coating thickness during the deposition are pro- posed. Dependencies of the film electrical conductivity on its thickness and deposition conditions are given. Potential of the developed method for enhancing the gyro assemblies performance is evaluated.
About the Authors
С. Беляев
ГНЦ РФ ОАО «ЦНИИ «Электроприбор» (С.- Петербург).
Russian Federation
Russian Federation
А. Щербак
ГНЦ РФ ОАО «ЦНИИ «Электроприбор» (С.- Петербург).
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Беляев, С.Н. Технологические особенности выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов // Изв. вузов. Приборостроение. Т. 52, № 3.- 2009.
2. Свойства элементов: Справочник / Под ред. М.Е.Дрица.- М.: Металлургия, 1985.
3. Розбери, Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии / Пер. с англ. - М.: Энергия, 1972.
4. Ландау, Б.Е. Электростатический гироскоп со сплошным ротором // Гироскопия и навигация.-1993.- № 1.
5. Майсел, Л. Технология тонких пленок: Справочник / Л. Майсел, Р.Гленг. - М.: Сов. радио, 1977.
6. Хокинг, М. Металлические и керамические покрытия / М.Хокинг, В.Васантасри, П.Сидки.- М.: Мир, 2000.
7. Беляев, С.Н. Средства оснащения процессов напыления покрытий на узлы гироприборов, имеющие форму тел вращения / С.Н.Беляев, А.Г.Щербак // Х конференция молодых ученых «Навигация и управление движением».- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2008.
Review
For citations:
, . Giroskopiya i Navigatsiya / Gyroscopy and Navigation. 2010;18(2):57-62. (In Russ.)
Views:
60
JATS XML
Email this article 