Упругий подвес суперминиатюрного микромеханического гироскопа
Аннотация
Построены и исследованы математические модели для расчета и анализа частот собственных колебаний распределенной системы «упругий подвес – чувствительный элемент» суперминиатюрного (объем ЧЭ с подвесом <0,2 мм3) микромеханического гироскопа. Разработано необходимое алгоритмическое и программное обеспечение. Осуществлен автоматизированный выбор на основе определения частот собственных колебаний, геометрических параметров упругого подвеса, обеспечивающих выполнение условия датчика резонансной настройки. Получены оценки влияния технологических допусков на характеристики упругого подвеса.
Об авторах
В. Э. Джашитов
Институт проблем точной механики и управления РАН (г. Саратов).
Россия
Россия
Джашитов Виктор Эмануилович, доктор технических наук, профессор, заведующий лабораторией. Действительный член общественного объединения «Академия навигации и управления движением».
В. М. Панкратов
Институт проблем точной механики и управления РАН (г. Саратов).
Россия
Россия
Панкратов Владимир Михайлович, доктор технических наук, профессор, зам. директора по науке. Действительный член общественного объединения «Академия навигации и управления движением».
Список литературы
1. Распопов, В.Я. Микромеханические приборы: Учебное пособие. 2-е издание, перераб. и доп.
2. Тул.гос. университет, Московский гос. технологический ун-т им. К.Э. Циолковского. - Тула: Гриф и К, 2004.- 476 с.
3. Инерциальные модули на микромеханических датчиках. Разработка и результаты испытаний / В.Г.Пешехонов [и др.] //Юбилейная XV Санкт-Петербургская международная конференция по интегрированным навигационным системам. - СПб.: ЦНИИ «Электроприбор» 2008. - С.9-15.
4. Джашитов, В.Э. Датчики, приборы и системы авиакосмического и морского приборостроения в условиях тепловых воздействий / В.Э.Джашитов, В.М. Панкратов. / Под общей ред. академика РАН В.Г. Пешехонова. - СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2005. -404 с.
5. Джашитов, В.Э.Теоретические основы разработки и создания суперминиатюрного микромеханического многофункционального датчика инерциальной информации / В.Э.Джашитов, В.М.Панкратов, М.А. Барулина //Нано- и микросистемная техника. - 2010. - №5 (118). - С. 46-54.
6. Бидерман, В.Л. Теория механических колебаний. Учебник для вузов. - М.: Высш. шк., 1980. - 408с.
7. Джашитов, В.Э. Выбор параметров упругого подвеса планарного микромеханического гироскопа на основе определения частот его собственных колебаний / В.Э.Джашитов, В.М. Панкратов. //Гироскопия и навигация. - 2005. - №4. - с. 42-56.
8. Дарков, А. В.Сопротивление материалов / А. В.Дарков, Г.С. Шпиро . - М.: Высш. шк., 1969. - 734 с.
9. Светлицкий, В.А. Механика стержней: Учеб. Для втузов. В 2 ч. Ч.II. Динамика. - М.: Высш. шк., 1987.- 304 с.
10. Разработка и оптимизация схемы построения микроакселерометра на поверхностных акустических волнах. Часть I / Д.П.Лукьянов [и др.] // Гироскопия и навигация. - 2005. - №2. - С. 79-94.
Рецензия
Для цитирования:
Джашитов В.Э., Панкратов В.М. Упругий подвес суперминиатюрного микромеханического гироскопа. Гироскопия и навигация. 2011;19(2):51-63.
Просмотров:
16
JATS XML
Послать статью по эл. почте 