Влияние ориентации кремниевой структуры на свойства микромеханических акселерометров
Аннотация
Исследуется влияние ориентации кремниевой структуры (100), (110), (111) на основные характеристики микромеханических акселерометров при воздействии рабочих температур. В среде ANSYS разработаны модели микромеханических акселерометров осевого и маятникового типов и определены зависимости собственных частот и масштабных коэффициентов от температуры окружающей среды при различных ориентациях кремниевой структуры.
Об авторе
М. В. Федоров
ОАО «Гирооптика» (С.-Петербург); Санкт-Петербургский университет аэрокосмического приборостроения
Россия
Россия
Федоров Максим Вячеславович, инженер; аспирант СПбГУАП
Список литературы
1. Распопов, В.Я. Микромеханические приборы // М.: Машиностроение, 2007.- С. 83-91.
2. Ваганов, В.И. Интегральные тензопреобразователи // Энергоатомиздат, 1983.- С. 15 -21.
3. Попова, И. В. Микромеханические датчики и системы, практические результаты и перспективы развития / И. В. Попова [и др.] // XII Санкт-Петербургская межд. конф. по интегрированным навигационным системам.- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ “Электроприбор”, 2005.- С. 262 – 267.
Рецензия
Для цитирования:
Федоров М.В. Влияние ориентации кремниевой структуры на свойства микромеханических акселерометров. Гироскопия и навигация. 2011;19(4):92-98.
Просмотров:
12
JATS XML
Послать статью по эл. почте 