Для цитирования:
Федоров М.В. Влияние ориентации кремниевой структуры на свойства микромеханических акселерометров. Гироскопия и навигация. 2011;19(4):92-98.
JATS XML
Федоров М.В. Влияние ориентации кремниевой структуры на свойства микромеханических акселерометров. Гироскопия и навигация. 2011;19(4):92-98.